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氣體質(zhì)量流量計數字控制模塊應用有哪些？

2022.07.25

氣體質(zhì)量流量計數字控制模塊如果用一個(gè)腔體將兩路不同質(zhì)量流量的氣體混合成一定體積比的標準氣體，腔體的體積是否會(huì )影響兩種氣體的混勻程度？  

氣體質(zhì)量流量計數字控制模塊流量比法：使用范圍，流量比法法是動(dòng)態(tài)配氣方法，是嚴格控制一定比例的組分氣體和釋稀釋氣體的流量，經(jīng)混合而得到的標準氣體。 

腔體的體積是否會(huì )影響兩種氣體的混勻程度，只有兩種氣體是可以組合的，那應該不會(huì )影響，關(guān)鍵看這兩種氣體的互溶程度如何。

氣體質(zhì)量流量計數字控制模塊是利用連續稀釋法將已知濃度的原料氣，以較小的流量，恒定不變地送入氣體混氣模塊中，再通過(guò)混氣模塊，同時(shí)將凈化過(guò)的背景氣體（通常使用高純N2或Air）以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。

稀釋后的混合氣連續不斷地從混氣模塊出供使用的配氣設備。準確計量原料氣流和背景氣流之比可得稀釋倍數?；旌蠚獾臐舛瓤珊?jiǎn)單地從稀釋倍數計算出來(lái)，調節氣流比可以得到所需濃度的標準氣體。

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